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熱物理顯微鏡TM3的測量原理

發(fā)布時(shí)間:2022-07-25 點(diǎn)擊量:891

熱物理顯微鏡TM3的測量原理

在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光定期加熱。

  1. 由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的特性(熱電阻法),因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強(qiáng)度變化來測量表面的相對(duì)溫度變化。 .

  2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱特性。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱射流率。


熱物理顯微鏡的測量原理(概述)


檢測特點(diǎn)

  • 熱物性顯微鏡是一種測量熱射流率的裝置,熱射流率是熱物理特性值之一。

  • 它是一種可以通過點(diǎn)、線和面測量樣品的熱特性的設(shè)備。

  • 還可以測量微米量級(jí)的熱物理性質(zhì)分布,這在傳統(tǒng)的熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。

  • 它是一款能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸式高分辨率測量的設(shè)備。

  • 3 μm的檢測光點(diǎn)直徑可在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率熱物性測量(點(diǎn)/線/面測量)。

  • 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測量,因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。

  • 您也可以測量板上的樣品。

  • 使用激光進(jìn)行非接觸式測量。

  • 可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。


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